检测标准
检测对象
参数 / 项目
限制说明
GB/T 17359-2023 微束分析 原子序数不小于11的元素能谱法定量分析
半导体薄膜
元素成分
GB/T 17359-2023 微束分析 原子序数不小于11的元素能谱法定量分析
氧硅
元素成分
GB/T 17359-2023 微束分析 原子序数不小于11的元素能谱法定量分析
氮硅
元素成分
GB/T 17359-2023 微束分析 原子序数不小于11的元素能谱法定量分析
金属薄膜
元素成分
GB/T 2680-2021 建筑玻璃 可见光透射比、太阳光直接透射比、太阳能总透射比、紫外线透射比及有关窗玻璃参数的测定
玻璃
透射比/反射比
只测可见光透射比、可见光反射比、太阳光直接透射比、太阳光直接反射比
GB/T 31225-2014 椭圆偏振仪测量硅表面上二氧化硅薄层厚度的方法
半导体薄膜
厚度
GB/T 31227-2014 原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法
半导体薄膜
粗糙度
GB/T 31227-2014 原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法
金属薄膜
粗糙度
GB/T 31563-2015 金属覆盖层 厚度测量 扫描电镜法
金属薄膜
厚度
GB/T 36403-2018 红外光学玻璃红外透过率测试方法 傅里叶变换法
红外光学材料
透过率
GB/T 40069-2021 纳米技术 石墨烯相关二维材料的层数测量 拉曼光谱法
石墨烯
层数
GJB 2038A-2011 雷达吸波材料反射率测试方法
雷达吸波材料
反射幅度参数
测量频段：反射率2GHz~40GHz，本套装置与透波率测量装置不能同时运行
GJB 2038A-2011 雷达吸波材料反射率测试方法
雷达吸波材料
反射率
测量频段：反射率2GHz~40GHz，本套装置与透波率测量装置不能同时运行。
GJB 2038A-2011 雷达吸波材料反射率测试方法
雷达吸波材料
反射相位参数
测量频段：反射率：2GHz~40GHz，本套装置与透波率测量装置不能同时运行。
GJB 3310-98 雷达天线分系统性能测试方法——方向图
天线
主瓣宽度
只测：单探头，测量频段0.75GHz~40GHz。
GJB 3310-98 雷达天线分系统性能测试方法——方向图
天线
方向图
只测：单探头，测量频段0.75GHz~40GHz。
GJB 7954-2012 雷达透波材料透波率测试方法
雷达透波材料
透波幅度参数
测量频段： 透波率：2GHz~40GHz，本套装置与反射率测量装置不能同时运行。
GJB 7954-2012 雷达透波材料透波率测试方法
雷达透波材料
透波率
测量频段：透波率：2GHz~40GHz，本套装置与反射率测量装置不能同时运行。
GJB 7954-2012 雷达透波材料透波率测试方法
雷达透波材料
透波相位参数
测量频段：透波率：2GHz~40GHz，本套装置与反射率测量装置不能同时运行
GJB 3071A-2019 雷达天线分系统性能测试方法
天线
增益
只测：单探头，测量频段0.75GHz~40GHz。
GJB 3071A-2019 雷达天线分系统性能测试方法
天线
收发隔离度
测量频段:0.75GHz~40GHz。
GJB 3071A-2019 雷达天线分系统性能测试方法
天线
波束指向
只测：单探头，测量频段0.75GHz~40GHz。
GJB 3071A-2019 雷达天线分系统性能测试方法
天线
电压驻波比
测量频段:0.75GHz~40GHz
GJB 3071A-2019 雷达天线分系统性能测试方法
天线
轴比
只测：单探头，测量频段0.75GHz~40GHz。
YD/T 2868-2020 移动通信系统无源天线测量方法
天线
增益
只测：单探头，测量频段0.75GHz~40GHz。
YD/T 2868-2020 移动通信系统无源天线测量方法
天线
收发隔离度
测量频段:0.75GHz~40GHz。
YD/T 2868-2020 移动通信系统无源天线测量方法
天线
方向图
只测：单探头，测量频段0.75GHz~40GHz。
YD/T 2868-2020 移动通信系统无源天线测量方法
天线
电压驻波比
测量频段:0.75GHz~40GHz