检测标准
检测对象
参数 / 项目
限制说明
GB/T 16943-2009 电子工业用气体 氦
电子工业用气体 氦
氦纯度
GB/T 16944-2009 电子工业用气体 氮
电子工业用气体 氮
氢含量
GB/T 16944-2009 电子工业用气体 氮
电子工业用气体 氮
氧含量
GB/T 16944-2009 电子工业用气体 氮
电子工业用气体 氮
氮纯度
GB/T 16945-2009 电子工业用气体 氩
电子工业用气体 氩
氩气纯度
GB/T 18867-2014 电子工业用气体 六氟化硫
电子工业用气体 六氟化硫
六氟化硫纯度
GB/T 23938-2021 高纯二氧化碳
高纯二氧化碳
二氧化碳纯度
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
一氟甲烷
一氧化碳含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
一氟甲烷
二氧化碳含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
一氟甲烷
其他氟碳化合物含量
只测二氟一氯甲烷、二氟二氯甲烷、三氟甲烷、四氟化碳
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
一氟甲烷
氧+氩含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
一氟甲烷
氮含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
二氟甲烷
一氧化碳含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
二氟甲烷
二氧化碳含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
二氟甲烷
其他氟碳化合物含量
只测一氟二氯甲烷、二氟一氯甲烷、二氟二氯甲烷、1,1,1-三氟乙烷、四氟化碳
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
二氟甲烷
氧+氩含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
二氟甲烷
氮气含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
八氟环丁烷
一氧化碳含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
八氟环丁烷
二氧化碳含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
八氟环丁烷
其他氟碳化合物含量
只测六氟丙烯
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
八氟环丁烷
氧+氩含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
八氟环丁烷
氮含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
四氟化碳
一氧化碳含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
四氟化碳
二氧化碳含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
四氟化碳
六氟乙烷含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
四氟化碳
六氟化硫含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
四氟化碳
其他碳氟化合物含量
只测三氟甲烷、三氟一氯甲烷
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
四氟化碳
氧+氩含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
四氟化碳
氮含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
氙气
一氧化碳含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
氙气
二氧化碳含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
氙气
氟化物（C2F6)含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
氙气
氢含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
氙气
氧+氩含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
氙气
氧化亚氮含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
氙气
氪气含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
氙气
氮含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
氙气
甲烷含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
氩
一氧化碳含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
氩
二氧化碳含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
氩
氢含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
氩
氮含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
氩
甲烷含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
氩/氙/氖混合气
一氧化碳含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
氩/氙/氖混合气
二氧化碳含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
氩/氙/氖混合气
四氟化碳含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
氩/氙/氖混合气
氙气含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
氩/氙/氖混合气
氮气含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
氩/氙/氖混合气
甲烷含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
氪/氖混合气
一氧化碳含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
氪/氖混合气
二氧化碳含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
氪/氖混合气
四氟化碳含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
氪/氖混合气
氙气含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
氪/氖混合气
氧气含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
氪/氖混合气
氮气含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
氪/氖混合气
甲烷含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
氪气
一氧化碳含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
氪气
二氧化碳含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
氪气
氙气含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
氪气
氟化物（CF4)含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
氪气
氢含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
氪气
氧+氩含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
氪气
氮含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
电子工业用气体 三氟甲烷
一氧化碳含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
电子工业用气体 三氟甲烷
二氧化碳含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
电子工业用气体 三氟甲烷
其他碳氟化合物(一氟二氯甲烷、二氟甲烷、二氟一氯甲烷、二氟二氯甲烷、1,1,1-三氟乙烷、四氟化碳)含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
电子工业用气体 三氟甲烷
氧+氩含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
电子工业用气体 三氟甲烷
氮含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
电子工业用气体 八氟丙烷
一氧化碳含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
电子工业用气体 八氟丙烷
二氧化碳含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
电子工业用气体 八氟丙烷
其他有机物（以甲烷计）含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
电子工业用气体 八氟丙烷
其他碳氟化合物(四氟化碳、六氟乙烷、六氟丙烯、七氟丙烷、八氟环丁烷）含量
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电子工业用气体 八氟丙烷
氧+氩含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
电子工业用气体 八氟丙烷
氮含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
电子工业用气体 六氟乙烷
一氧化碳含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
电子工业用气体 六氟乙烷
二氧化碳含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
电子工业用气体 六氟乙烷
卤代烃(二氟甲烷、二氟一氯甲烷、三氟甲烷、三氟一氯甲烷、四氟甲烷、五氟一氯甲烷、五氟乙烷、1,1,1-三氟乙烷）
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
电子工业用气体 六氟乙烷
氢含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
电子工业用气体 六氟乙烷
氧+氩含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
电子工业用气体 六氟乙烷
氮含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
电子工业用气体 六氟乙烷
甲烷含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
电子工业用气体 六氟化硫
一氧化碳含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
电子工业用气体 六氟化硫
二氧化碳含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
电子工业用气体 六氟化硫
四氟化碳含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
电子工业用气体 六氟化硫
氧+氩含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
电子工业用气体 六氟化硫
氮含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
电子工业用气体 六氟化硫
甲烷含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
电子工业用气体 氦
一氧化碳含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
电子工业用气体 氦
二氧化碳含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
电子工业用气体 氦
氧含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
电子工业用气体 氦
氮含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
电子工业用气体 氩
一氧化碳含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
电子工业用气体 氩
二氧化碳含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
电子工业用气体 氩
氢含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
电子工业用气体 氩
氮含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
高纯二氧化碳
一氧化碳含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
高纯二氧化碳
总烃（以甲烷计）含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
高纯二氧化碳
氢含量
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
高纯二氧化碳
氮含量
GB/T 31986-2015 电子工业用气体 八氟丙烷
电子工业用气体 八氟丙烷
八氟丙烷纯度