检测标准
检测对象
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限制说明
GB/T 14603-2009 电子工业用气体 三氟化硼
电子工业用气体 三氟化硼
二氧化碳(CO<Sub>2</Sub>)
GB/T 14603-2009 电子工业用气体 三氟化硼
电子工业用气体 三氟化硼
二氧化碳(CO<Sub>2</Sub>)
GB/T 14603-2009 电子工业用气体 三氟化硼
电子工业用气体 三氟化硼
四氟化碳(CF<Sub>4</Sub>)
GB/T 14603-2009 电子工业用气体 三氟化硼
电子工业用气体 三氟化硼
四氟化碳(CF<Sub>4</Sub>)
GB/T 14603-2009 电子工业用气体 三氟化硼
电子工业用气体 三氟化硼
氧+氩(O<Sub>2</Sub>+Ar)
GB/T 14603-2009 电子工业用气体 三氟化硼
电子工业用气体 三氟化硼
氧+氩(O<Sub>2</Sub>+Ar)
GB/T 14603-2009 电子工业用气体 三氟化硼
电子工业用气体 三氟化硼
氮(N<Sub>2</Sub>)
GB/T 14603-2009 电子工业用气体 三氟化硼
电子工业用气体 三氟化硼
氮(N<Sub>2</Sub>)
GB/T 14851-2009 电子工业用气体 磷化氢
电子工业用气体 磷化氢
一氧化碳(CO)
只用GB/T 28726-2012法测试
GB/T 14851-2009 电子工业用气体 磷化氢
电子工业用气体 磷化氢
一氧化碳(CO)
只用GB/T 28726-2012法测试
GB/T 14851-2009 电子工业用气体 磷化氢
电子工业用气体 磷化氢
二氧化碳(CO<Sub>2</Sub>)
只用GB/T 28726-2012法测试
GB/T 14851-2009 电子工业用气体 磷化氢
电子工业用气体 磷化氢
二氧化碳(CO<Sub>2</Sub>)
只用GB/T 28726-2012法测试
GB/T 14851-2009 电子工业用气体 磷化氢
电子工业用气体 磷化氢
总烃(以甲烷计)
只用GB/T 28726-2012法测试
GB/T 14851-2009 电子工业用气体 磷化氢
电子工业用气体 磷化氢
总烃(以甲烷计)
只用GB/T 28726-2012法测试
GB/T 14851-2009 电子工业用气体 磷化氢
电子工业用气体 磷化氢
氧(氩)(O<Sub>2</Sub>/Ar)
GB/T 14851-2009 电子工业用气体 磷化氢
电子工业用气体 磷化氢
氧(氩)(O<Sub>2</Sub>/Ar)
GB/T 14851-2009 电子工业用气体 磷化氢
电子工业用气体 磷化氢
氮(N<Sub>2</Sub>)
GB/T 14851-2009 电子工业用气体 磷化氢
电子工业用气体 磷化氢
氮(N<Sub>2</Sub>)
GB/T 14851-2009 电子工业用气体 磷化氢
电子工业用气体 磷化氢
水(H<Sub>2</Sub>O)
GB/T 14851-2009 电子工业用气体 磷化氢
电子工业用气体 磷化氢
水(H<Sub>2</Sub>O)
GB/T 14851-2009 电子工业用气体 磷化氢
电子工业用气体 磷化氢
砷化氢(AsH<Sub>3</Sub>)
GB/T 14851-2009 电子工业用气体 磷化氢
电子工业用气体 磷化氢
砷化氢(AsH<Sub>3</Sub>)
GB/T 14851-2009 电子工业用气体 磷化氢
电子工业用气体 磷化氢
磷化氢(PH<Sub>3</Sub>)纯度
GB/T 14851-2009 电子工业用气体 磷化氢
电子工业用气体 磷化氢
磷化氢(PH<Sub>3</Sub>)纯度
GB/T 15909-2017 电子工业用气体 硅烷
电子工业用气体 硅烷
一氧化碳(CO)
GB/T 15909-2017 电子工业用气体 硅烷
电子工业用气体 硅烷
一氧化碳(CO)
GB/T 15909-2017 电子工业用气体 硅烷
电子工业用气体 硅烷
乙硅烷(Si<Sub>2</Sub>H<Sub>6</Sub>)
GB/T 15909-2017 电子工业用气体 硅烷
电子工业用气体 硅烷
乙硅烷(Si<Sub>2</Sub>H<Sub>6</Sub>)
GB/T 15909-2017 电子工业用气体 硅烷
电子工业用气体 硅烷
二氧化碳(CO<Sub>2</Sub>)
GB/T 15909-2017 电子工业用气体 硅烷
电子工业用气体 硅烷
二氧化碳(CO<Sub>2</Sub>)
GB/T 15909-2017 电子工业用气体 硅烷
电子工业用气体 硅烷
氢(H<Sub>2</Sub>)
GB/T 15909-2017 电子工业用气体 硅烷
电子工业用气体 硅烷
氢(H<Sub>2</Sub>)
GB/T 15909-2017 电子工业用气体 硅烷
电子工业用气体 硅烷
氧+氩(O<Sub>2</Sub>+Ar)
GB/T 15909-2017 电子工业用气体 硅烷
电子工业用气体 硅烷
氧+氩(O<Sub>2</Sub>+Ar)
GB/T 15909-2017 电子工业用气体 硅烷
电子工业用气体 硅烷
氮(N<Sub>2</Sub>)
GB/T 15909-2017 电子工业用气体 硅烷
电子工业用气体 硅烷
氮(N<Sub>2</Sub>)
GB/T 15909-2017 电子工业用气体 硅烷
电子工业用气体 硅烷
氯硅烷(二氯二氢硅SiH<Sub>2</Sub>Cl<Sub>2</Sub>、三氯氢硅SiHCl<Sub>3</Sub>、四氯化硅SiCl<Sub>4</Sub>)
GB/T 15909-2017 电子工业用气体 硅烷
电子工业用气体 硅烷
氯硅烷(二氯二氢硅SiH<Sub>2</Sub>Cl<Sub>2</Sub>、三氯氢硅SiHCl<Sub>3</Sub>、四氯化硅SiCl<Sub>4</Sub>)
GB/T 15909-2017 电子工业用气体 硅烷
电子工业用气体 硅烷
水(H<Sub>2</Sub>O)
GB/T 15909-2017 电子工业用气体 硅烷
电子工业用气体 硅烷
水(H<Sub>2</Sub>O)
GB/T 15909-2017 电子工业用气体 硅烷
电子工业用气体 硅烷
烃(C<Sub>2</Sub>~C<Sub>4</Sub>)
GB/T 15909-2017 电子工业用气体 硅烷
电子工业用气体 硅烷
烃(C<Sub>2</Sub>~C<Sub>4</Sub>)
GB/T 15909-2017 电子工业用气体 硅烷
电子工业用气体 硅烷
甲烷(CH<Sub>4</Sub>)
GB/T 15909-2017 电子工业用气体 硅烷
电子工业用气体 硅烷
甲烷(CH<Sub>4</Sub>)
GB/T 15909-2017 电子工业用气体 硅烷
电子工业用气体 硅烷
砷(As)
GB/T 15909-2017 电子工业用气体 硅烷
电子工业用气体 硅烷
砷(As)
GB/T 15909-2017 电子工业用气体 硅烷
电子工业用气体 硅烷
硅烷(SiH<Sub>4</Sub>)纯度
GB/T 15909-2017 电子工业用气体 硅烷
电子工业用气体 硅烷
硅烷(SiH<Sub>4</Sub>)纯度
GB/T 15909-2017 电子工业用气体 硅烷
电子工业用气体 硅烷
硼(B)
GB/T 15909-2017 电子工业用气体 硅烷
电子工业用气体 硅烷
硼(B)
GB/T 15909-2017 电子工业用气体 硅烷
电子工业用气体 硅烷
磷(P)
GB/T 15909-2017 电子工业用气体 硅烷
电子工业用气体 硅烷
磷(P)
GB/T 15909-2017 电子工业用气体 硅烷
电子工业用气体 硅烷
铝(Al)
GB/T 15909-2017 电子工业用气体 硅烷
电子工业用气体 硅烷
铝(Al)
GB/T 15909-2017 电子工业用气体 硅烷
电子工业用气体 硅烷
铬(Cr)+铜(Cu)+铁(Fe)+镍(Ni)+锌(Zn)
GB/T 15909-2017 电子工业用气体 硅烷
电子工业用气体 硅烷
铬(Cr)+铜(Cu)+铁(Fe)+镍(Ni)+锌(Zn)
GB/T 15909-2017 电子工业用气体 硅烷
电子工业用气体 硅烷
锑(Sb)
GB/T 15909-2017 电子工业用气体 硅烷
电子工业用气体 硅烷
锑(Sb)
GB/T 15909-2017 电子工业用气体 硅烷
电子工业用气体 硅烷
镓(Ga)
GB/T 15909-2017 电子工业用气体 硅烷
电子工业用气体 硅烷
镓(Ga)
GB/T 26250-2010 电子工业用气体 砷化氢
电子工业用气体 砷化氢
一氧化碳(CO)
只用GB/T 28726-2012法测试
GB/T 26250-2010 电子工业用气体 砷化氢
电子工业用气体 砷化氢
一氧化碳(CO)
只用GB/T 28726-2012法测试
GB/T 26250-2010 电子工业用气体 砷化氢
电子工业用气体 砷化氢
二氧化碳(CO<Sub>2</Sub>)
只用GB/T 28726-2012法测试
GB/T 26250-2010 电子工业用气体 砷化氢
电子工业用气体 砷化氢
二氧化碳(CO<Sub>2</Sub>)
只用GB/T 28726-2012法测试
GB/T 26250-2010 电子工业用气体 砷化氢
电子工业用气体 砷化氢
氧(O<Sub>2</Sub>)+氩(Ar)
GB/T 26250-2010 电子工业用气体 砷化氢
电子工业用气体 砷化氢
氧(O<Sub>2</Sub>)+氩(Ar)
GB/T 26250-2010 电子工业用气体 砷化氢
电子工业用气体 砷化氢
氮(N<Sub>2</Sub>)
GB/T 26250-2010 电子工业用气体 砷化氢
电子工业用气体 砷化氢
氮(N<Sub>2</Sub>)
GB/T 26250-2010 电子工业用气体 砷化氢
电子工业用气体 砷化氢
水(H<Sub>2</Sub>O)
只用GB/T 5832.3-2011法测试
GB/T 26250-2010 电子工业用气体 砷化氢
电子工业用气体 砷化氢
水(H<Sub>2</Sub>O)
只用GB/T 5832.3-2011法测试
GB/T 26250-2010 电子工业用气体 砷化氢
电子工业用气体 砷化氢
甲烷(CH<Sub>4</Sub>)
只用GB/T 28726-2012法测试
GB/T 26250-2010 电子工业用气体 砷化氢
电子工业用气体 砷化氢
甲烷(CH<Sub>4</Sub>)
只用GB/T 28726-2012法测试
GB/T 26250-2010 电子工业用气体 砷化氢
电子工业用气体 砷化氢
砷化氢(AsH<Sub>3</Sub>)纯度
GB/T 26250-2010 电子工业用气体 砷化氢
电子工业用气体 砷化氢
砷化氢(AsH<Sub>3</Sub>)纯度
GB/T 26250-2010 电子工业用气体 砷化氢
电子工业用气体 砷化氢
磷化氢(PH<Sub>3</Sub>)
只用GB/T 28726-2012法测试
GB/T 26250-2010 电子工业用气体 砷化氢
电子工业用气体 砷化氢
磷化氢(PH<Sub>3</Sub>)
只用GB/T 28726-2012法测试
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
电子工业用气体
一氧化碳(CO)
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
电子工业用气体
一氧化碳(CO)
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
电子工业用气体
丁烷(C<Sub>4</Sub>H<Sub>10</Sub>)
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
电子工业用气体
丁烷(C<Sub>4</Sub>H<Sub>10</Sub>)
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
电子工业用气体
三氯氢硅(SiHCl<Sub>3</Sub>)
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
电子工业用气体
三氯氢硅(SiHCl<Sub>3</Sub>)
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
电子工业用气体
丙烷(C<Sub>3</Sub>H<Sub>8</Sub>)
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
电子工业用气体
丙烷(C<Sub>3</Sub>H<Sub>8</Sub>)
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
电子工业用气体
乙烷(C<Sub>2</Sub>H<Sub>6</Sub>)
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
电子工业用气体
乙烷(C<Sub>2</Sub>H<Sub>6</Sub>)
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
电子工业用气体
乙硅烷(Si<Sub>2</Sub>H<Sub>6</Sub>)
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
电子工业用气体
乙硅烷(Si<Sub>2</Sub>H<Sub>6</Sub>)
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
电子工业用气体
二氧化碳(CO<Sub>2</Sub>)
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
电子工业用气体
二氧化碳(CO<Sub>2</Sub>)
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
电子工业用气体
二氯二氢硅(SiH<Sub>2</Sub>Cl<Sub>2</Sub>)
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
电子工业用气体
二氯二氢硅(SiH<Sub>2</Sub>Cl<Sub>2</Sub>)
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
电子工业用气体
四氟化碳(CF<Sub>4</Sub>)
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
电子工业用气体
四氟化碳(CF<Sub>4</Sub>)
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
电子工业用气体
四氯化硅(SiCl<Sub>4</Sub>)
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
电子工业用气体
四氯化硅(SiCl<Sub>4</Sub>)
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
电子工业用气体
氢(H<Sub>2</Sub>)
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
电子工业用气体
氢(H<Sub>2</Sub>)
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
电子工业用气体
氧+氩(O<Sub>2</Sub>+Ar)
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
电子工业用气体
氧+氩(O<Sub>2</Sub>+Ar)